“哈哈…原来是波的问题！”
“就是不♿知道是哪套系统的波有问题？还是电磁杂波有问💣题？”
技术员们开着玩笑，开始拆卸接在主体🚁系统上🚸😋⛡的传感器。
他们准备把这套传感器接到激光光路系统上面，测试一下这套🕩🌔激光光路系统的电磁杂波频率和震动频率等。至于那激光头里射出的激光光束频率，工作站的电脑里早就有了数🗽♣据。
………
………
就这样，一个小时以后，两套系统的测试数据已🟥🟑经被打印出来。
“许董，原来是震动波的问题。咱们的光刻机主体系统和激光光路系统的震动🕋波频率非常接近，肯会产生共振现象。”万宁古扬了扬手中的a4打印纸，脸上露出开心笑。
这一番折腾下来，他都操碎了心。现在🚁能准确定位这台光刻机故障缺陷的🁥🇻原因，他怎么能不喜出望外？
许振鸣也是如此。通过这一番的科普，他对第三代krf光刻机的原理也算比较精通了。虽然不能像万宁古、梁宋宋、郝宁这些专家那样精通，要是去忽悠外行人🔗🀲，🜅⛔🚄保准没问题。
更深层的原因是，许振鸣通过这一🅭番实验，对这台国产第三代光刻机的性能有把握。
“我们集团公司总算跨出了那么一小🏇步。国产第一台krf光刻机将会在不久的未来诞生，而且就诞生在我的手中。嘿嘿……”许振鸣笑的也很开心。
他笑嘻嘻的问心情激动的万宁古，“老万，咱们🟥🟑既然找到了原因，什么时间能解🏈😄决这个💲🕮🍁缺陷？”
“应该很快的许董！老梁你说是不是？”万宁🚸😋⛡古🟥🟑笑嘻嘻的跟郁郁寡欢的梁宋松开玩笑。
梁宋松此时的心情很复杂，庆幸自己没🚁草率出头，说出自己的论断设🐯想，“这要是在会议上提🏶🞣出这台光刻机的故障缺陷原因，我现在应该出丑了。”
他冷冷的想着，复杂的目光看🕩🌐向许振鸣，“他怎么能观察到是接驳机构出了问题？”
梁宋松的内心戏非常多，此时其实已经想好了一个解决这种故障的好办法🁥🇻。但这种时刻，他不想说出来，免得再次受到挫折。
这时，郝宁教授来到许振鸣的身旁。“许董，我建议咱们召开一个技术讨论会议，在会议上通🏶🞣过讨论解决这个问题。”他非常谨🅂🃲慎，没在自己不擅长的领域乱下结论。
“对对对！郝教授说得非常有道理。要完美解决这个技术问题，咱们应该🁥🇻集思广益才行。许董，我建议应该扩大参加技术讨论会议人员的范围，老胡、老章他们这些人都要来参加。”
万宁古喜笑颜开的跟许振鸣提建议。他这个提议倒是有建设性，可以一揽子解决两台光刻机的技术⛑缺陷问题。
“就是不♿知道是哪套系统的波有问题？还是电磁杂波有问💣题？”
技术员们开着玩笑，开始拆卸接在主体🚁系统上🚸😋⛡的传感器。
他们准备把这套传感器接到激光光路系统上面，测试一下这套🕩🌔激光光路系统的电磁杂波频率和震动频率等。至于那激光头里射出的激光光束频率，工作站的电脑里早就有了数🗽♣据。
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就这样，一个小时以后，两套系统的测试数据已🟥🟑经被打印出来。
“许董，原来是震动波的问题。咱们的光刻机主体系统和激光光路系统的震动🕋波频率非常接近，肯会产生共振现象。”万宁古扬了扬手中的a4打印纸，脸上露出开心笑。
这一番折腾下来，他都操碎了心。现在🚁能准确定位这台光刻机故障缺陷的🁥🇻原因，他怎么能不喜出望外？
许振鸣也是如此。通过这一番的科普，他对第三代krf光刻机的原理也算比较精通了。虽然不能像万宁古、梁宋宋、郝宁这些专家那样精通，要是去忽悠外行人🔗🀲，🜅⛔🚄保准没问题。
更深层的原因是，许振鸣通过这一🅭番实验，对这台国产第三代光刻机的性能有把握。
“我们集团公司总算跨出了那么一小🏇步。国产第一台krf光刻机将会在不久的未来诞生，而且就诞生在我的手中。嘿嘿……”许振鸣笑的也很开心。
他笑嘻嘻的问心情激动的万宁古，“老万，咱们🟥🟑既然找到了原因，什么时间能解🏈😄决这个💲🕮🍁缺陷？”
“应该很快的许董！老梁你说是不是？”万宁🚸😋⛡古🟥🟑笑嘻嘻的跟郁郁寡欢的梁宋松开玩笑。
梁宋松此时的心情很复杂，庆幸自己没🚁草率出头，说出自己的论断设🐯想，“这要是在会议上提🏶🞣出这台光刻机的故障缺陷原因，我现在应该出丑了。”
他冷冷的想着，复杂的目光看🕩🌐向许振鸣，“他怎么能观察到是接驳机构出了问题？”
梁宋松的内心戏非常多，此时其实已经想好了一个解决这种故障的好办法🁥🇻。但这种时刻，他不想说出来，免得再次受到挫折。
这时，郝宁教授来到许振鸣的身旁。“许董，我建议咱们召开一个技术讨论会议，在会议上通🏶🞣过讨论解决这个问题。”他非常谨🅂🃲慎，没在自己不擅长的领域乱下结论。
“对对对！郝教授说得非常有道理。要完美解决这个技术问题，咱们应该🁥🇻集思广益才行。许董，我建议应该扩大参加技术讨论会议人员的范围，老胡、老章他们这些人都要来参加。”
万宁古喜笑颜开的跟许振鸣提建议。他这个提议倒是有建设性，可以一揽子解决两台光刻机的技术⛑缺陷问题。